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AMB陶瓷基板市場潛力巨大[ 09-26 15:55 ]
據了解,目前在AMB領域,比較領先的企業(yè)主要來自歐、日、韓,如德國的羅杰斯(RogersCorporation)、賀利氏科技集團,日本的同和控股(DOWA)、礙子株式會社(NGK)、電化株式會社(Denka)、京瓷株式會社(KYOCERACorporation)、東芝高新材料公司,韓國的KCC集團、AMOGREENTECH等。 受益于SiC新機遇,部分國際企業(yè)已在計劃對AMB基板進行擴產,如東芝高新材料公司已于去年開設大分工廠,開始生產氮化硅陶瓷基板;今年2月,羅杰斯官宣布擴大德國埃申巴赫工廠AMB基板產能。
AMB陶瓷基板對SiC芯片的配套優(yōu)勢明顯[ 09-24 17:52 ]
據了解,AMB基板銅層結合力在16N/mm~29N/mm之間,要大幅高于DBC工藝的15N/mm,更適合精密度高的陶瓷基板電路板,這一特性也使得AMB基板具備高溫高頻特性,導熱率為DBC氧化鋁的3倍以上,且使用過程中能降低SiC約10%的熱阻,能提升電池效率,對SiC上車并改善新能源汽車應用有明顯的提升效果。 不過,AMB工藝也還存在一些短板,其技術實現(xiàn)難度要比DBC、DPC兩種工藝大很多,對技術要求高,且在良率、材料等方面還有待進一步完善,這使得該技術目前的實現(xiàn)成本還比較高,“AMB被認為是Si
碳化硅襯底領域國產替代成效顯著[ 09-17 15:03 ]
碳化硅作為第三代半導體材料的主要代表之一,其技術發(fā)展也至關重要。雖然國內碳化硅的技術水平與國外有所差距,但國內企業(yè)在2-6英寸的半絕緣型和導電型碳化硅襯底領域均已實現(xiàn)部分國產替代,8英寸晶圓也在研制過程中,國產替代進程講持續(xù)突破。 碳化硅市場產業(yè)鏈主要分為晶圓襯底制造、外延片生產、碳化硅器件研發(fā)和裝備封裝測試四個部分,分別占市場總成本的50%、25%、20%、5%,由于具備晶體生長過程繁瑣,晶圓切割困難等特點,碳化硅襯底的制造成本一直處于高位。目前高質量襯底的應用主要集中于WolfSpeed、II-VI、RO
Wolfspeed宣布斥巨資擴產碳化硅晶圓產能[ 09-15 16:27 ]
9月9日,碳化硅半導體技術全球領導者Wolfspeed宣布將在北卡羅來納州投建200mm(8吋)碳化硅晶圓項目,一期投資13億美元,預計2024年投產;二期預計投資48億美元,到2030年投產,投資目標是使Wolfspeed達到目前產能的十倍。 Wolfspeed首席執(zhí)行官GreggLowe表示,碳化硅芯片能夠在500華氏度以上運行,電壓大約是傳統(tǒng)硅片可以處理的10倍,基于碳化硅的芯片已在電動汽車中找到一席之地,它們用于逆變器——該組件的作用是將電力從汽車電池傳輸?shù)绞管囕嗈D動的電機。L
碳化硅器件工藝難點在哪里?[ 09-14 17:19 ]
襯底片完了之后就是長外延,外延之后就是一系列的光刻,刻蝕,涂膠,沉積,清洗,離子注入等工藝,和硅工藝基本一致,然后就是后道的晶圓切die,封裝測試等,基本流程和硅差不多。 其中長外延,光刻膠,背面退火,刻蝕,以及氧化柵極工藝區(qū)別,歐姆接觸和硅工藝區(qū)別非常大。 硅的外延工藝就是普通的硅外延爐之類價格也很便宜國產的大約400-500萬一臺(8英寸的);碳化硅的是特殊的MOCVD/HT-CVD,且價格非常貴,基本要800-1500萬人民幣一臺,而且產能很低,一臺爐子一個月產能是30片。 外延爐主要是國外
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